Caractériser les surfaces, interfaces et volumes de tout type de matériaux
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Il s’agit d’un ensemble d’équipements de caractérisation physico-chimique des surfaces, interfaces et volumes de tout type de matériaux (des conducteurs aux isolants, des multicouches ultraminces aux matériaux massifs, des poudres, matériaux métalliques, organiques et inorganiques) utiles pour différents domaines tels que l’énergie, l’électronique et l’optoélectronique, la communication, le transport, la santé.
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Plateforme de spectroscopies électroniques XPS/AES/UPS VersaProbe Phi5000
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Plateforme de spectroscopies électroniques XPS/AES/UPS/IPES
- Spectroscopie de photo-électrons X - VersaProbe Phi5000 (XPS à haute résolution énergétique et spatiale
- Spectroscopie d'électrons Auger (AES)
- Spectroscopie de photo-électrons UV (UPS à haute résolution énergétique)
- Cartographie élémentaire et chimique
- Profils de concentration en profondeur à haute résolution interfaciale (4 nm) par décapage ionique (destructif)
- Système de neutralisation de charge
- Valise de transfert pour le transport sous vide d'échantillons sensibles à l'air
- Chambre de préparation sous ultra-vide Prevac
- Spectroscopie de photo-électrons inverse (IPES) Omnivac
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Microscope Electronique à Balayage de table Phenom XL
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Microscope Electronique à Balayage de table Phenom XL
- Plage de grossissement électronique de 160x à 200 000x, grossissement optique de 6x à 32
- Résolution < 10 nm
- Tension d’accélération : 5kV, 10kV, 15kV et 20kV
- Première image optique obtenue en 5s, première image électronique en 45s
- Source d’électrons : CeB6
- Modes vide poussé et vide dégradé
- Détecteurs disponibles : BSD, SED, EDS
- Plateforme XY motorisée
- Facilité d’utilisation grâce aux réglages automatiques
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Profilomètre optique 3D Bruker Contour GT-K
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- Profilomètres
- Profilomètre optique 3D Bruker Contour GT-K
- Résolution latérale : < 0.4 μm
- Résolution verticale : < 1 nm
- Répétabilité RMS : < 0.03 nm
- Objectifs : 2.5x, 5x, 10x et 50x
- Lentilles : 0.55x, 1x
- Platine XY motorisée de 150mm
- Épaisseur maximale de substrat de 100 mm
- Illumination : module multi-LEDs
- Modes : Vertical Scanning Interferometry (VSI) et Phase-Shifting Interferometry (PSI)
- Profilomètre à stylet Dektak IIA
- Stylet pointe diamant
- Hauteur de profil : 5nm à 131μm
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